RTP管式退火爐、真空合金爐用于先進材料需要在高真空、快速升降溫、等條件下進行工藝的非標定制設備，可根據客戶不同需求定制。

主要技術參數                            

◆工藝管數量：1管

◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆結構型式：臥式熱壁型

◆工作溫度范圍：200～1100℃

◆恒溫區長度及精度：±1℃/600mm

◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆真空度：   3×10-4Pa

◆升溫速度：  60度/min

◆降溫速度：  60度/min

◆控制方式： 工業微機控制

◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制